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全球最快的计量原子力显微镜

发布时间:2020-04-15 作者: 来源: 浏览:2406

欧洲计量创新与研究计划(EMPIR)的项目“制造3D堆叠集成电路的计量”及其后续项目“可溯源的三维纳米计量学”研发出了全球最快的计量原子力显微镜。

原子力显微镜是一种超高分辨率的扫描探针显微镜,能够测定亚纳米或微米级的样品表面特征。

该项目研发的显微镜由一个末端有尖探针的悬臂组成,能够“感觉到”或接触到标本的表面结构,就像唱机上的唱针沿着胶片凹槽旋转,并“播放”编码在槽线中的音乐。

这种显微镜具有范围广、快速和准确的测量能力,可实现高达1 mm / s的扫描速度,可测量25 mm x 25 mm x 5 mm的体积,相当于其它原子力显微镜扫描速度的50倍,且测量不确定度低至亚纳米级。

参与研发的德国联邦物理技术研究院(PTB) 3D纳米计量工作组负责人认为:该原子力显微镜能够对应用于半导体、纳米光学、纳米材料、生物科学等各个行业的复杂纳米结构进行完整扫描。该项目成果极大地扩展了传统原子力显微镜技术的性能,使其范围更广,准确性更高,速度更快,为应对工业挑战提供了独特的计量解决方案。

该项目成果已发表在《测量与科学技术》杂志上。

半导体行业中使用的电路板

图:半导体行业中使用的电路板

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