冲电气工业日前上市了采用MEMS技术生产的3轴加速度传感器模块“ML8950”(发表资料(日文))。在外形尺寸为5.0mm×5.0mm×1.4mm的封装内封装有传感器元件和控制IC。与竞争对手最薄的产品相比，厚度还要小0.1mm。这是该公司首次投产基于MEMS技术的加速度传感器。主要面向便携终端、娱乐设备及安全系统等。 ML8950的特点是通过数字信号输出检测结果。这是在控制IC中集成10位A-D转换电路实现的。这样便可省掉原来安装在外部的A-D转换IC。此外，在控制IC中还集成了信号放大电路和温度补偿电路等。 　　利用压电电阻效应检测加速度、倾斜及冲击等。通过利用SOI(绝缘体上硅)晶圆的MEMS技术进行生产，提高了传感器元件的耐冲击性、实现了芯片的小型化和薄型化。额定加速度为±3G，耐冲击性为4000G，驱动电压为+2.5V～+3.3V。 　　冲电气工业将在“CEATEC JAPAN 2004”(会期2004年10月5日～10月9日)上展出此次开发的产品。将于2004年10月开始提供工业样品、2005年4月开始量产供货。工业样品的价格为5000日元(约合人民币385元)。 　　冲电气工业从1999年便开始接受基于硅微细加工技术的MEMS生产委托业务。今后，该公司的目标是开发高功能MEMS传感器，2006年实现销售额100亿日元(约合人民币7.7亿)。