欧洲计量创新与研究计划（EMPIR）的项目“制造3D堆叠集成电路的计量”及其后续项目“可溯源的三维纳米计量学”研发出了全球最快的计量原子力显微镜。

原子力显微镜是一种超高分辨率的扫描探针显微镜，能够测定亚纳米或微米级的样品表面特征。

该项目研发的显微镜由一个末端有尖探针的悬臂组成，能够“感觉到”或接触到标本的表面结构，就像唱机上的唱针沿着胶片凹槽旋转，并“播放”编码在槽线中的音乐。

这种显微镜具有范围广、快速和准确的测量能力，可实现高达1 mm / s的扫描速度，可测量25 mm x 25 mm x 5 mm的体积，相当于其它原子力显微镜扫描速度的50倍，且测量不确定度低至亚纳米级。

参与研发的德国联邦物理技术研究院（PTB） 3D纳米计量工作组负责人认为：该原子力显微镜能够对应用于半导体、纳米光学、纳米材料、生物科学等各个行业的复杂纳米结构进行完整扫描。该项目成果极大地扩展了传统原子力显微镜技术的性能，使其范围更广，准确性更高，速度更快，为应对工业挑战提供了独特的计量解决方案。

该项目成果已发表在《测量与科学技术》杂志上。

图：半导体行业中使用的电路板